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従来のマイクロスコープでの計測について

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計測原理



Principle - 計測原理 -




従来のマイクロスコープでの計測との違い

従来のマイクロスコープの計測原理は、画面の中に校正用のゲージを写し出し、その距離を覚えさせて画素との比例で測定する「比較計測」方式でした。

この方法の場合、簡単に測定が可能で、画面の上に計測結果を記述・保存できる利点があります。 また、記録した画像の中の大きさを感じるのにも最適ですが、計測やその精度の点からすると、様々な問題点があります。

マイクロ・スクェアでは、「比較計測」の問題を解決し、広範囲で精度の高い安定した形状測定ができるシステム(ステージVTM151+XTMeasureSW)をご提案しております。

  従来の方式 マイクロ・スクェアの計測方式
トレーサビリティの問題 従来は、パソコンのマウス操作によりポイントを決めるという検出方法であるため、どうしても測定の信頼性を保証できません。
また、ある人が検出した点と、別の人が検出した点では、おのずと差が出てきます。
弊社システムの計測原理は ステージの動きとステージカウンターをベースにしています。
従って、ステージ精度が測定精度に関わってきます。
弊社のステージ「VTM1510」の測定精度は、JIS B7153 グレード1に準拠しており、XY軸の精度は、(4+L/50)μmです。
広範囲で高精度の測定が出来ない問題 従来は、計測したい範囲を1つの画面内に納めなければならないため、スコープの倍率を下げて広い範囲を視野にいれる必要があり、測定しようとする点の検出精度がばらつく傾向にあります。
ですので、どうしても測定の精度が落ちてしまいます。
測定の範囲はステージサイズによりますが、弊社のステージ「VTM1510」は100x150mmと広範囲です。
また、PCメジャーリングシステム「VTM2010」は200x100mmの範囲での測定が可能です。
架空点の計測ができない問題 従来は、座標を覚えていないため、ある線とある線の交差点の座標を検出し、それと他の点との距離を測定することはできませんでした。
(ソフトによっては画面上の座標を覚えるものもありますが、画面を移動させる場合、移動の前後の画像間では距離測定できません)
たとえばラインを2本引き、その2本のライン間の交差点がどこかを座標として検出することができますので、その交差点とある円のセンターとの距離測定などが可能となります。

これらの測定の場合、ラインをどのように検出するかで、交差点位置が変わってしまいますが、弊社のXTMeasureSWには、標準機能として自動エッジ検出SWがあります。(測定できるツールとしては円弧・円・ライン・点の4つです) 人の目での検出では、その人それぞれで微妙に位置がばらつきますが、自動エッジ検出では、人による誤差はほとんどなく、安定して計測可能です。

また、ピクセル単位でピッチを設定すれば、数百ポイントを瞬時に検出し、その近似値ラインを自動で描きますので、ぶれなく測定ができます。

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