弊社システムを使用した実例

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弊社システムを使用した実例

では、弊社システムを使用した計測の実例についてご説明します。

計測で重要な点は、「ステージの精度」と「測定する箇所をいかに正確に検出するか」にかかっています。

【ラインエッジツール】

ラインエッジツールは、ラインを引くと輝度差のもっとも大きい点を自動的に検出し、そのポイントを座標で表示します。

弊社システムでは、この方法をベースとして数種類のエッジ検出が可能です。

【クロスラインエッジ検出ツール】

上記はクロスラインのエッジ検出ツールです。クロスしている箇所が輝度差の最大に来たときに色が赤く変化し、検出します。

【ライン検出】

ラインを指定すると、そのエッジを数十箇所自動で検出し、その近似値をラインとして検出します。

マニアル操作でこの作業をすると10分以上かかり、人による誤差がどうしても生じてしまいます。

【円の自動エッジ検出】

上記は、円の自動エッジ検出による円弧測定の実例です。

数十点のエッジから、近似値の円弧を自動的に検出しています。

これらの計測値は座標としても保存されますので、それらを用いてさらに計測した結果の関係を導き出すことができます。

ラインを2箇所入力した場合は、次のように角度測も可能です。

また、円を2つ入力した場合は、それぞれの円の中心座標を検出し、それらの中心位置ずれの計測もできます。

最後に、関係ツールによる測定項目を下記に記載します。

　　　　

点：選択した測定点から最大、最小あるいは最適な点を作成します。
　　　　

セグメントポイント：選択した測定線あるいは円弧から分割点を作成します。
　　　　

中心点：選択した閉鎖測定個体の中心点を作成します。
　　　　

交差点：選択した2測定個体間交点を作成します。
　　　　

中間点：選択した2測定個体間中点を作成します。
　　　　

ライン：選択した2測定点から線を作成します。
　　　　

2等分線：選択した2測定線間の角の2等分線を作成します。
　　　　

接線：選択した測定点と円、または2つの測定円の間の接線を作成します。
　　　　

円：選択した測定点、線のあるいは四角形から円を作成します。
　　　　

楕円：選択した測定点から楕円を作成します。
　　　　

四角形：選択した測定点あるいは線から四角形を作成します。
　　　　

スロット：選択した測定点、線あるいは円からスロットを作成します。
　　　　

円弧：選択した測定点から円弧を作成します。
　　　　

距離：選択した2測定個体間の距離を作成します。
　　　　

角度：選択した2測定線間の鋭角あるいは鈍角を作成します。
　　　　

Z軸差：選択した2測定点間のZ軸の距離差を測定します。
　　　　

ゲージ円：選択した2測定ライン間のゲージ円を作成します。
　　　　

ゲージライン：選択した2測定ライン間のゲージラインを作成します。
　　　　

オフセット：選択した測定要素から平行移動した位置にオフセット要素を作成します

段差、高さ計測この計測はフォーカスインジケーターを使って行います。画像の中のウィンドウ部分のベストフォーカスを自動的に検出して、その高さ座標を検出します。ｘ20倍以上の対物レンズを利用しますと、繰り返し精度は±１ミクロン程度となります。