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製品情報

計測原理




Products(ビデオマイクロスコープ)




PCメジャーリングシステム

VTM-1510は測定顕微鏡100x150mm、200万画素CCDカメラ、パソコン、自動エッジ検出ツール&演算処理ソフトから構成されています。



※当社ショールームにて是非ご体験ください。

機種名 VTM-1510
画素数 200万画素
PCインターフェース IEEE1394
PC環境 CPU Pentium4以上
OS WindowsXP,2000 SP4 , メモリー 512MB以上




製品の特徴
自動エッジ検出 人による誤差を少なくするため、さまざまな自動エッジ検出ツールによる入力を標準装備して精度の高い測定ツールを実現しました。

たとえば ラインエッジは画像の上にラインを引くと 自動でエッジ点を検出します。


クロスラインがエッジ点にくると赤く色が変わります。その点を入力します。

ラインRは検出の範囲を指定すると自動で数十個のエッジを検出してその近似ラインを検出します。従来の、3点を人が入力した計測では、少しの入力位置の違いが計測データーに大きく影響して、安定した計測が難しかったのが現状です。
また、スキャンのインターバルは任意に設定ができます。
また、異常なポイントが検出された場合は、自動的にその異常ポイントを削除して計測しますので、ごみの付着などによる計測結果の変動は避けることができ、これも精度の向上につながります。
 


円の自動検出ツールを動画にてご覧ください。瞬時に100点ほどのエッジを検出します。

従来のマニアル操作では難しかったR,角度測定に特に威力を発揮します。また、ごみの付着ばり等が原因の異常点は、自動で異常点の除去を行い、入力箇所から除去し、信頼性をアップします。
高画質
200万画素の高画質CCDカメラを搭載。1600×1200の解像度で鮮明な画像の観察ができます。
倍率 x1 x3 x5 (オプションで x0.25 x0.5 x10 x20 ズームレンズ)
照明技術 白色LEDリング、グリーンLED透過
ステージ JIS B7153 グレード1準拠
トレサビリテイーはドイツDKD LABの標準器に従って校正されています。
最小表示分解能 0.5ミクロン
ステージのカウンターから測定値(XYZ入力要素)を取込み、指定した二次元演算処理をして、その結果を表示及び出力します。

■測定の例
 たとえば、よくあるチップの先端と中の円の中心位置との距離を計測した画面をご覧ください。ダイアグラムの表示を選んで それらの関係の計測ができ操作が非常に簡単です。
  下の動画で操作をご覧ください。



1.チップ先端と円の中心点の距離測定の動画

 先端R範囲を指定して、自動検出でRを測定。
 位置を移動して自動検出で円を測定。
 円の中心座標を検出し、Rとの最大距離を測定。



2.チップの角度測定の動画

 両端のラインを自動検出。
 両ラインから角度を測定。



3.パートプログラムツールの動画例

 このプログラムは、繰り返し同じ箇所の測定をする場合に
 ツールの選択なしに同じ作業を反復することができます。
 両端ラインを検出すると 自動的に角度を測定します。



■充実のレポート機能
  測定結果、あるいは統計結果、また測定した画像、ダイアグラム、などを任意に選択して
Excelへの転送が行えます。

PAGETOP(ビデオマイクロスコープ)
■チャート機能
  動画上に 任意のR,グリッド、角度などを挿入し、画面との比較を行います。まるで投影機のような感覚です。
 

PAGETOP(ビデオマイクロスコープ)
画像の保存
  200万画素の画像を保存できますので、計測機能以外にマイクロスコープとしての機能もご利用でき効率的です。
 
     
   

PAGETOP(ビデオマイクロスコープ)
段差測長機能(オプション)

  Z軸の段差測定が、ベストフォーカスインジケーターを利用してできます。
この操作の場合は、レンズ倍率が高ければ高いほど繰り返し誤差が少なくなります。
画像センターの四角のウインドウのベストフォーカス座標を、Z軸をゆっくりと動かし
ながら検出します。
 

段差の2箇所の座標の差を、下記の表で検出します。




PC測定マイクロスコープ
「VTM-1510」


発売:2007年9月下旬






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製品の仕様

■カメラ

撮像素子 カラ-CCD
有効画素数 200万画素
ステージ部 100x150mm(100x200mmもあり)
測定精度 JIS B7153 グレード1準拠

■レンズ

標準倍率
x1 x3 x5 (オプションで x0.25 x0.5 x10 x20 ズームレンズ)

■照明

照明

白色LEDリング グリーンLED透過


■ソフト
TViewer 画像ソフトを標準添付
手動入力ツール クロスライン、マウス選択
自動エッジ入力ツール クロスライン、マウス、ラインエッジ、ライン、ボックス、円、R, 異常点検出
測定ツール

点、線、円、四角、楕円、弧、スロット、角度、距離、分割点、中間点、 交差点、角2等分線

レポートツール Excel, CVS file
チャートツール 角度、半径、グリット
パートプログラムツール  
ユーザー測定ツール  
アライメントツール  

■パソコン
デスクトップPC


PAGETOP(USB2.0マイクロスコープ)
 
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