公開日:2020年9月16日 最終更新日:2020年09月16日

コンタミ検査とは

コンタミという言葉を耳にしたことがあるでしょうか?
コンタミとは「コンタミネーション」の略語で、「混入」を意味します。
製造プロセスで意図せずに異物が混入することは、その製品の品質と信頼性に重大な影響を及ぼすことが容易に想像できます。
それゆえに製造分野においてコンタミ検査(残留異物検査)は益々、その重要度が高まってきています。
部品の洗浄検査、IC用ガラス基板上の異物検査、化学薬品濾過フィルタの残留物検査、潤滑油やガスの異物検査などです。

コンタミ検査は一般的にはメンブランフィルタ(粒子を捕捉するφ25~90mmの白い繊維フィルタ)でとらえた
残留物を拡大観察し、その大きさが各業種で定めた許容値以内かどうかを判定します。
製品や部品、あるいは材料の信頼性に関わる非常に重要な判定になります。

コンタミ検査のひとつである部品洗浄による検査方法を簡単に説明します。

部品の洗浄    部品から残留物質を洗い落とします。洗浄した液は溜めておきます。

メンブレンフィルターの用意  濾過用のメンブレンフィルターを用意します。φ25~90mmの白い繊維のフィルターです

洗浄液の濾過   洗浄液をフィルターで濾過します。 

残留物質の付着  濾過すると、残留物質はフィルターに付着。

この残留物質の大きさが、各業種で定められている規定値を超えていないか、超えた数がどのくらいかをあるか、どのような残留物質なのかを検査するのがコンタミ検査になります。

専用の自動検査機で行われることが一般的ですが、機材が高額になることと、コンタミ判定だけの専用機になってしまうため、簡単に導入できるものではありません。
そこで手動ではありますが、弊社の汎用型のマイクロスコープを使用し、安価で、しかも簡便に判定ができる方法を紹介いたします。

マイクロスコープによるコンタミ簡易検査

*レオパードは標準付属ソフトです。セット価格580,000円(税抜き)

レオパード計測ソフトには、マイクロスコープで拡大したライブ画像に対し、縦線、横線、円などを任意の間隔で作成することができる、Overlay Chart という機能があります。
そのなかのRect Area という機能を利用します。
縦と横を任意の長さで指定したマスを作成することができます。


               
実際にどのように行うか説明をいたします。
使用する倍率に該当するキャリブレーションデータを読み込みます。
(*)キャリブレーションについては、寸法計測・寸法精度を高める方法を参照ください。

縦と横の寸法を指定します。
小数点の指定もできます。

ここでは、縦400ミクロン、横400ミクロンの許容値を設定します。
400ミクロンより大きいコンタミがあるかを調べます。

縦・横 400ミクロンのエリアが表示されます。

白い中心点をマウスでつかむと、自由に移動できます。
コンタミに順次移動させていけば目視で確認できます。

 

コンタミに移動させれば、すぐに範囲を超えているかがわかります。

コンタミが斜めの場合、マスを斜めにして計測することはできませんので、
通常の2点間計測を使用します。

2点間の計測のアイコンをクリックすれば斜めのワークでも、
すぐに縦・横の計測が出来ます。

 

面積も併せて計測する方法

多角形計測のアイコンをクリックし、コンタミにそってマウスを
動かしていくと、面積を計測することができます。

このように手動ながら簡易にコンタミの判定を行うことができます。
また、マイクロスコープの倍率をあげることにより、コンタミの正体を解析する
手段にもなります。

 

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