マイクロスコープで測定をする場合、精度がどの程度なのでしょうか。

実際には、画像処理ソフト上で、操作者がカーソルをクリックして校正を行いますし、測定もカーソルを移動させて測定物のエッジをとらえてクリックしますので、人的な熟練度により精度は変化します。

当社のDS-３Aでご説明します。

まずマイクロスコープの測定原理は比較測定です。比較測定ですから測定したい長さと同程度のラインを引いてその値を校正値とすることが精度的には有利です。

DS-３Aで５０倍と１５０倍で校正用のガラスの距離を測定してみました。５０倍は２０００ミクロン、１５０倍は１０００ミクロンでそれぞれ校正した後、同じ長さを測定しました。結果は約１０ミクロン程度の誤差がでました。

あくまで今回はガラススケールという校正したガラスを使いましたので、条件としてはいい条件です。エッジが判別しやすいか、また測定したいサンプルの平面度合いがどうか、測定者のクリック位置の再現性などの条件で精度は変わってきます。