公開日: 最終更新日: 2021年02月

低い照度で均一性の高いUVLED面照射器を作りました。
用途は露光装置用です。

有効面積400mm角という面積において±3%以内の均一性を達成できました。
発光面は約600mm角で作りましたので、有効面積の端でも照度は下がらない結果となりました。

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