低い照度で均一性の高いUVLED面照射器を作りました。

低い照度で均一性の高いUVLED面照射器を作りました。
用途は露光装置用です。

有効面積400mm角という面積において±３％以内の均一性を達成できました。
発光面は約600mm角で作りましたので、有効面積の端でも照度は下がらない結果となりました。